划片(Wafer Saw)

划片(Wafer Saw)

一、什么是划片(Wafer Saw)?

划片,是指将一整片晶圆(Wafer)上已加工好的成百上千颗芯片(Die),按照既定的划线,将它们切割成独立颗粒状芯片的过程。

简单来说,就是把一整块“蛋糕”*地切成一小块一小块,方便后续逐颗封装。

二、划片的目的与意义

为什么要划片?

实现芯片分离:晶圆初期是整片的,但每颗芯片要单独封装、测试,必须分离。

利于封装操作:每颗芯片需要单独处理、电性测试、封装成品,必须通过划片完成拆分。

提高良率与可靠性:精细控制的划片过程可以减少边缘破损,提高*终封装成功率。

三、划片的关键技术参数

划片并不是简单的“切”,它是一门精密的工艺,下面是关键参数:

四、划片的标准工艺流程(Step by Step)

步骤 1:蓝膜固定

晶圆经过贴膜工艺,已被固定在蓝膜上,蓝膜安装在金属框架上,待入划片机。

步骤 2:设定划线路径

划片设备依据芯片排列图,设定划线路径,确保沿着“街道线”(scribe line)切割,不伤到芯片区域。

步骤 3:选择刀片或激光

普通刀片用于大部分标准芯片

激光切割适用于高精度、小间距、堆叠结构芯片

步骤 4:切割操作

刀片开始旋转,并沿着设定轨迹缓慢推进

同时喷洒超纯水,带走切削粉尘,冷却刀具

一般一颗晶圆需切割数十至上百条线

步骤 5:防止切穿蓝膜

切割深度需*控制,不能穿透蓝膜,否则芯片会散落,无法进行下一步封装。

五、特殊划片工艺说明

1. 激光切割

适用于超小芯片、超窄划线(cutting lane)、或三维堆叠封装

优势:无机械应力、切割精度高、切割宽度小

2. 双刀划片

有些芯片为保护表层结构,需进行“双次切割”:

*次用宽刀片清除表层保护层

第二次用窄刀片完成*切割

六、划片的风险点与控制重点

七、划片后的清洁处理

清洗芯片表面

冲洗掉划片后残留的硅粉和颗粒

确保打线键合区无异物污染

水中加药剂

有时在纯水中加入化学清洗剂或二氧化碳气泡,提高清洁效果,避免残留物干扰后续封装。

八、总结回顾

划片是将晶圆上成百上千颗芯片*切割成单颗的重要步骤,它是良率控制的关键节点之一。核心要点:

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